PC-Control: Beckhoff-Technologie steuert blaues Laserlicht

EtherCAT sorgt für höchste Präzision bei Lithographieanlage

Die Kleo Halbleitertechnik GmbH in Tettnang, Deutschland, produziert hochmoderne Lithographieanlagen zur Fertigung von Masken für die Herstellung von LCD-Flachbildschirmen. Mit kurzwelligem, blauem Laserlicht erzeugt die Anlage kleinste Strukturen. Die Automatisierung der hochpräzisen Prozesse übernahm die Artec Engineering GmbH in Baienfurt, Deutschland, unter Verwendung von Beckhoff-Steuerungstechnik.

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members-no PC-Control: Beckhoff technology controls blue laser light PDF Sep 01, 2008  
members-no PC-Control: Beckhoff technology controls blue laser light EN  PDF  Sep 01, 2008  0,17 MB    
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