elektroJOURNAL: Mr. Sulu: Energie auf die Phaser! EtherCAT sorgt für höchste Präzision bei Lithographieanlage
Die Kleo Halbleitertechnik produziert Lithographieanlagen zur Fertigung von Masken für die Herstellung von LCD-Bildschirmen. Mit blauem Laserlicht erzeugt die Anlage kleinste Strukturen. Die Automatisierung der hochpräzisen Prozesse übernahm die Artec Engineering unter Verwendung von Beckhoff-Steuerungstechnik.
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| elektroJOURNAL: Mr. Sulu: Energie auf die Phaser! EtherCAT sorgt für höchste Präzision bei Lithographieanlage | DE | 2008/05/01 | 0,86 MB |