超高真空トリプルゲージ™に対するBCG450 ATM

INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10-10～1500 mbar（3.75×10-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。BCG450は3つのセンサー（熱陰極、コンベクション式ピラニ、真空スイッチ）に代わるようにデザインされ、これによってコストを削減し、貴重なスペースを節約します。

利点

• BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
• 10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。
• ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
• 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
• 差圧測定により、気圧の変化による不確実性を取り除きます
• 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより再現性を保証
• オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
• RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

• 半導体プロセスと移送、ロードロックチャンバーにおける圧力計測
• 工業用コーティング
• 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲でシステムをコントロール