MFC 2172 – Massenflussregler

Der kompakte MFC 2172 Massenflussregler von Axetris mit EtherCAT-Schnittstelle beruht auf der von Axetris selbst entwickelten Plating-MEMS-Technologie (MEMS: Micro Electro-Mechanical Systems).

Er bietet die folgenden Vorteile:

• Ultra kompakte Grösse
• Schnelle Einschwingzeit < 150 ms
• Hervorragende Genauigkeit und Repetierbarkeit
• Extrem kompakte Bauweise
• Grosser Dynamikbereich > 1000:1
• Langfristige Stabilität
• Verbindungsfähigkeit mit Ethernet mit EtherCAT-Schnittstelle

Er wird empfohlen für freistehende Anwendungen und Systemintegration in industrielle, analytische und medizinische Anwendungen, wenn MFCs in Ethernet basierte Netzwerke mit einer EtherCAT-Kommunikations-Schnittstelle integriert werden müssen.

Axetris Massenflussmesser und -regler basieren auf dem von Axetris selbst entwickelten MEMS-flow chip (YouTube-Video). Sie ermöglichen OEMs weltweit höchste Leistungen zu erreichen, sei es in industriellen Anwendungen wie zum Beispiel Dünnfilmprozessen oder höchst reproduzierbaren analytischen Instrumenten.