comX 51CA-RE\R

Im Bereich der Halbleiterfertigung hat sich EtherCAT als Kommunikationsprotokoll durchgesetzt. Die Adressierung der Real-Time-Ethernet Protokolle erfolgt typischerweise über die IP-Adresse oder per Remote. Für die Halbleiterindustrie hat die ETG (EtherCAT Technology Group) ein spezielles Profil definiert, welches in dem ETG.5003 „Semiconductor Device Profile“ spezifiziert wurde. Die größten Hersteller von Fertigungsmaschinen für die Hableiterindustrie, wie Applied Materials, Lam Research oder Tokyo Electron beteiligten sich aktiv an der Entwicklung der Norm, wodurch eine Interoperabilität verschiedener Geräte unkompliziert spezifiziert werden konnte.

Das Kommunikationsprotokoll EtherCAT wird standardmäßig im Halbleitermarkt verwendet und die Nachfrage nach Produkten, welche die Adressierung per Drehcodierschaltern vornehmen, wächst seit Jahren exponentiell an. Gerätehersteller, die ihre Produkte im Halbleitermarkt verkaufen möchten, kommen somit an dem ETG-Standard nicht mehr vorbei.

Das comX 51CA-RE\R basiert auf dem klassischen und im Markt etablierten comX 51 Design. Mit dem Zusatz von physischen Adress-Drehcodierschaltern kann die Explicite Device ID gemäß Common Device Profil (CDP, ETG.5003-1) eingestellt werden. Das Zusammenspiel von selbstentwickelter Hard- und Software von Hilscher ermöglicht es den Anwendern, ein Gerät nach dem Common Device Profile zu entwickeln, welches die Basis für die Geräteentwicklung gemäß SDP (Specific Device Profile, ETG.5003-2xxx) für folgende Applikationen darstellt:

• Emissionsminderungs- und Sub Fab Systeme
• DC & RF Generatoren
• Massenflusssensoren
• Prozesssteuerungsventile
• RF Match
• Schrupp-/Vakuumpumpen
• Temperaturcontroller
• Turbopumpen
• Vakuumdruckmessgeräte