日付:	2025/05/13 - 2025/05/15
場所:	オンライン会議, ウェブ
タイプ:	技術作業部会
関連情報:	詳細 ETG半導体製造装置技術作業部会(Semi TWG)は半導体製造装置向けにその特別な要件に適合したデバイスプロファイル、実装ガイドラインおよびデバイスのコンフォーマンステストの仕様策定を担当しています。