ETG.5003 Semiconductor Device Profile
The ETG.5003 Semiconductor Device Profile series consists of the following parts:
- Part 1: Common Device Profile
The Common Device Profile (CDP) specifies requirements applicable to all devices described in the Specific Device Profiles. Furthermore, it describes features and functionalities which shall be further defined in the Specific Device Profiles. - Part 2xxx: Specific Device Profiles
The Specific Device Profiles (SDP) are based on Part 1 (CDP) and define the data structure of the specific devices. For a complete specification of a device used in the semiconductor manufacturing industry an SDP shall be read complementary with the CDP.
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| 描述 | 语言 | 类别 | 日期 | 大小 | 版本 | 状态 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ETG.5003.0000 i Semiconductor Device Profile Implementation Guideline | EN | 2023年10月10日 | 0,27 MB | 1.0.0 | Release | |
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ETG.5003.0000d Specific Device Profile (SDP) Design Guideline | EN | ZIP | 2024年10月9日 | 2,41 MB | 1.0.5 | Release |
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ETG.5003.0002 Firmware Update | EN | 2021年5月5日 | 0,23 MB | 1.0.1 | Release | |
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ETG.5003.1 Common Device Profile (CDP) incl. OD | EN | ZIP | 2024年10月9日 | 0,61 MB | 1.2.0 (OD 3.3.0) | Release |
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ETG.5003.2000 Abatement and Sub Fab Systems incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,36 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.201x DC & RF Power Generator | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,83 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.202x Mass Flow Controller (MFC) incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 1,25 MB | 1.2.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2029 Liquid Flow Controller (LFC) + TF-4829 | EN | ZIP | 2024年10月9日 | 0,70 MB | 1.2.0.5 (OD 1.3.4 + TF 0.0.6) | Draft for Review |
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ETG.5003.2030 Process Control Valve | EN | 2014年4月10日 | 7,21 MB | 1.0.0 | Release | |
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ETG.5003.2040 RF Match incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,44 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2050 Roughing Pump incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,43 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2060 Temperature Controller incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,51 MB | 1.2.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2061 Temperature Sensor incl. OD + TF-4861 | EN | ZIP | 2024年10月23日 | 0,56 MB | 1.0.0 (OD 1.0.0) | Release |
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ETG.5003.2070 Turbo Pump incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,35 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2080 Vacuum Pressure Gauge incl. OD + TF-4880 | EN | ZIP | 2024年10月9日 | 0,90 MB | 1.3.1 (OD 2.1.0 + TF 2.2.0) | Release |
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ETG.5003.2090 VI Probe incl. OD + TF | EN | ZIP | 2024年10月9日 | 0,69 MB | 1.0.0 (OD 1.0.0 + TF 1.0.0) | Release |
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ETG.5003.3000 Chiller incl. OD | EN | ZIP | 2022年3月28日 | 0,40 MB | 1.1.0 (OD 1.1.0) | Release |
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ETG.5003.3010: Cryogenic Vacuum System (CVS) incl. OD | EN | ZIP | 2022年12月6日 | 0,68 MB | 1.0.0 | Release |
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ETG.5003.3030 Process Control Valve compact (PCVc) incl. OD + TF-4930 | EN | ZIP | 2024年10月9日 | 0,73 MB | 1.0.0 (OD 1.0.0 + TF 1.0.0) | Release |
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ETG.5003 Comment Form | EN | DOC | 2018年7月11日 | 0,02 MB |