ETG.5003 半導体製造装置向けデバイスプロファイル
ETG.5003 半導体製造装置向けデバイスプロファイルシリーズは以下のパートで構成されています。
- Part 1: Common Device Profile(共通デバイスプロファイル)
共通デバイスプロファイル(CDP)は、特定デバイスプロファイル(SDP)に記載されているすべてのデバイスに適用される要件を規定しています。さらに、特定デバイスプロファイルでさらに定義されるべき機能や特徴も定義されています。 - Part 2xxx: Specific Device Profiles(特定デバイスプロファイル)
特定デバイスプロファイル(SDP)はPart 1 (CDP)に基づいており、特定のデバイスのデータ構造を定義しています。半導体製造業界で使用されるデバイスの完全な仕様については、CDPと相補的にSDPを読む必要があります。
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| 説明 | 言語 | タイプ | 日付 | サイズ | Ver. | ステータス | |
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ETG.5003.0000 i Semiconductor Device Profile Implementation Guideline | EN | 2023/10/10 | 0,27 MB | 1.0.0 | Release | |
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ETG.5003.0000d Specific Device Profile (SDP) Design Guideline | EN | ZIP | 2024/10/09 | 2,41 MB | 1.0.5 | Release |
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ETG.5003.0002 Firmware Update | EN | 2021/05/05 | 0,23 MB | 1.0.1 | Release | |
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ETG.5003.1 Common Device Profile (CDP) incl. OD | EN | ZIP | 2024/10/09 | 0,61 MB | 1.2.0 (OD 3.3.0) | Release |
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ETG.5003.2000 Abatement and Sub Fab Systems incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,36 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.201x DC & RF Power Generator | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,83 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.202x Mass Flow Controller (MFC) incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 1,25 MB | 1.2.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2029 Liquid Flow Controller (LFC) + TF-4829 | EN | ZIP | 2024/10/09 | 0,70 MB | 1.2.0.5 (OD 1.3.4 + TF 0.0.6) | Draft for Review |
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ETG.5003.2030 Process Control Valve | EN | 2014/04/10 | 7,21 MB | 1.0.0 | Release | |
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ETG.5003.2040 RF Match incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,44 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2050 Roughing Pump incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,43 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2060 Temperature Controller incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,51 MB | 1.2.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2061 Temperature Sensor incl. OD + TF-4861 | EN | ZIP | 2024/10/23 | 0,56 MB | 1.0.0 (OD 1.0.0) | Release |
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ETG.5003.2070 Turbo Pump incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,35 MB | 1.1.0 (OD 1.3.0) | Release |
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ETG.5003.2080 Vacuum Pressure Gauge incl. OD + TF-4880 | EN | ZIP | 2024/10/09 | 0,90 MB | 1.3.1 (OD 2.1.0 + TF 2.2.0) | Release |
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ETG.5003.2090 VI Probe incl. OD + TF | EN | ZIP | 2024/10/09 | 0,69 MB | 1.0.0 (OD 1.0.0 + TF 1.0.0) | Release |
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ETG.5003.3000 Chiller incl. OD | EN | ZIP | 2022/03/28 | 0,40 MB | 1.1.0 (OD 1.1.0) | Release |
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ETG.5003.3010: Cryogenic Vacuum System (CVS) incl. OD | EN | ZIP | 2022/12/06 | 0,68 MB | 1.0.0 | Release |
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ETG.5003.3030 Process Control Valve compact (PCVc) incl. OD + TF-4930 | EN | ZIP | 2024/10/09 | 0,73 MB | 1.0.0 (OD 1.0.0 + TF 1.0.0) | Release |
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ETG.5003 Comment Form | EN | DOC | 2018/07/11 | 0,02 MB |